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標(biāo)簽 > MEMS壓力傳感器

MEMS壓力傳感器

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  MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件,受到壓力時(shí)變形??梢岳脩?yīng)變儀(壓阻型感測)來測量這種形變,也可以通過電容感測兩個(gè)面之間距離的變化來加以測量。這兩種方法都很流行,輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)使用比較結(jié)實(shí)的壓阻方法。

文章: 13 個(gè)
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MEMS壓力傳感器簡介

  MEMS壓力傳感器在汽車中的一個(gè)新應(yīng)用是傳動(dòng)系統(tǒng)壓力感測,通常用于自動(dòng)裝置之中,但也用于新型雙離合器傳動(dòng)系統(tǒng)。德國廠商推出了一款MEMS解決方案,使用油來保護(hù)硅薄膜,使其可以最高耐受70巴的壓力。博世幾年前也曾為MEMS壓力傳感器帶來巨大變化,當(dāng)時(shí)使用的是多孔硅,帶來了高度可靠的MEMS器件,這些器件已用于目前的側(cè)面氣囊等應(yīng)用之中。

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mems壓力傳感器知識(shí)

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mems壓力傳感器技術(shù)

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mems壓力傳感器資訊

諧振式微型壓力傳感器,可用于實(shí)現(xiàn)高精度的高壓測量

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