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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)革命性的新技術(shù),廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),是一項(xiàng)關(guān)系到國(guó)家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國(guó)防安全的關(guān)鍵技術(shù)。
MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工,涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。
常見(jiàn)的產(chǎn)品包括MEMS加速度計(jì)、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。
傳感器新品亮相國(guó)際傳感器大會(huì),英飛凌技術(shù)方案如何賦能智能家居和出行?
3月31日到4月2日,英飛凌亮相深圳國(guó)際傳感器與應(yīng)用技術(shù)展覽會(huì),帶來(lái)了毫米波雷達(dá)、MEMS麥克風(fēng)、PSOC62 MC...
LIS2DU12超低功耗加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊(cè)和產(chǎn)品介紹
STMicroelectronicsLIS2DU12超低功耗加速度計(jì)是一款線(xiàn)性3軸加速度計(jì),具有高級(jí)數(shù)字功能。 STMicroelectronics...
拆解UGREEN綠聯(lián)HiTune H6 Pro真無(wú)線(xiàn)降噪耳機(jī) 搭載SSP707電源管理芯片 內(nèi)置敏芯股份MEMS麥克風(fēng)拾音
在當(dāng)下的真無(wú)線(xiàn)耳機(jī)市場(chǎng)中,針對(duì)于不同的應(yīng)用場(chǎng)景和佩戴舒適性需求,又可以細(xì)分為帶耳塞的入耳式...
國(guó)產(chǎn)替代:W-TRS-5.5Dx紅外溫度傳感器在電陶爐行業(yè)創(chuàng)新應(yīng)用
電陶爐行業(yè),正迎來(lái)一場(chǎng)由紅外測(cè)溫傳感器驅(qū)動(dòng)的技術(shù)革新。作為國(guó)內(nèi)前沿的MEMS傳感器研發(fā...
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探索MEMS傳感器制造:晶圓劃片機(jī)的關(guān)鍵作用
MEMS傳感器晶圓劃片機(jī)技術(shù)特點(diǎn)與應(yīng)用分析MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器晶圓劃片機(jī)是用于切割MEMS傳感器晶圓的關(guān)鍵設(...
拆解Xiaomi小米運(yùn)動(dòng)對(duì)講機(jī) 內(nèi)置兩顆敏芯股份的MEMS麥克風(fēng)組成拾音陣列
對(duì)講機(jī)作為一種即時(shí)的無(wú)線(xiàn)通訊設(shè)備,擁有著不受信號(hào)影響、更便捷的集群通訊、更持久的續(xù)航等優(yōu)勢(shì)...
2025-02-25 標(biāo)簽:mems麥克風(fēng)陣列拆解 944 0
醫(yī)療環(huán)境穩(wěn)定時(shí)鐘信號(hào)可選擇國(guó)芯思辰MEMS振蕩器,替換SiTime
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深入剖析MEMS壓力傳感器封裝與測(cè)試,揭秘其背后的奧秘!
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高精度六軸MEMS運(yùn)動(dòng)跟蹤TM器件ICM-42688-P 數(shù)據(jù)表立即下載
類(lèi)別:IC datasheet pdf 2024-08-12 標(biāo)簽:mems速度計(jì)
ADIS16470微型MEMS慣性測(cè)量單元(IMU)英文手冊(cè)立即下載
類(lèi)別:IC datasheet pdf 2024-07-22 標(biāo)簽:memsIMU
ADI公司突破性的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開(kāi)關(guān)技術(shù)立即下載
類(lèi)別:電子資料 2023-11-27 標(biāo)簽:adimems微機(jī)電系統(tǒng)
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硅麥集成模塊化生產(chǎn)實(shí)現(xiàn)電子霧化設(shè)備自動(dòng)化組裝和海外環(huán)?;厥漳繕?biāo)
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奧松電子邀您相約2025深圳國(guó)際傳感器與應(yīng)用技術(shù)展覽會(huì)
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2025-03-18 標(biāo)簽:mems供應(yīng)商設(shè)備自動(dòng)化 380 0
微型傳感革命:國(guó)產(chǎn)CMOS-MEMS單片集成技術(shù)、MEMS Speaker破局
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2025-03-18 標(biāo)簽:mems 560 0
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型號(hào) | 描述 | 數(shù)據(jù)手冊(cè) | 參考價(jià)格 |
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MSM321A3729H9BP | 模擬輸出MEMS麥克風(fēng) MIC_3.76X2.95MM_SM |
獲取價(jià)格
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MSM261DHP006 | MEMS硅麥 1.6~3.6V ±1dB |
獲取價(jià)格
|
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