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沈陽芯源微電子設備股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國家高新技術企業(yè)，專業(yè)從事半導體生產(chǎn)設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務，致力于為客戶提供半導體裝備與工藝整體解決方案。