曝光機(jī)即電子束曝光機(jī)是集電子光學(xué)、電氣、機(jī)械、真空、計(jì)算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備。曝光機(jī)是20 世紀(jì) 60 年代初從掃描電子顯微鏡基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)， 70 年代以后廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)。