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標(biāo)簽 > 晶圓
晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。
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晶圓,作為芯片制造的基礎(chǔ)載體,其表面平整度對于后續(xù)芯片制造工藝的成功與否起著決定性作用。
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展,晶圓接受測試(Wafer Acceptance Test,WAT)在半導(dǎo)體制造過程中的地位日益凸顯。WAT測試的核心目標(biāo)是確保...
碳化硅襯底的特氟龍夾具相比其他吸附方案,對于測量碳化硅襯底 BOW/WARP 的影響
一、引言 隨著碳化硅在半導(dǎo)體等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,對其襯底質(zhì)量的檢測愈發(fā)關(guān)鍵。BOW(翹曲度)和 WARP(彎曲度)是衡量碳化硅襯底質(zhì)量的重要參數(shù),準(zhǔn)確測量...
一種新型RDL PoP扇出晶圓級封裝工藝芯片到晶圓鍵合技術(shù)
扇出型晶圓級中介層封裝( FOWLP)以及封裝堆疊(Package-on-Package, PoP)設(shè)計(jì)在移動(dòng)應(yīng)用中具有許多優(yōu)勢,例如低功耗、短信號路徑...
測量探頭的 “溫漂” 問題,都是怎么產(chǎn)生的,以及對于氮化鎵襯底厚度測量的影響
在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)這片高精尖的領(lǐng)域中,氮化鎵(GaN)襯底作為新一代芯片制造的核心支撐材料,正驅(qū)動(dòng)著光電器件、功率器件等諸多領(lǐng)域邁向新的高峰。然而,氮化鎵襯底...
特氟龍夾具的晶圓夾持方式,相比真空吸附方式,對測量晶圓 BOW 的影響
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,晶圓作為芯片的基礎(chǔ)母材,其質(zhì)量把控的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一便是對 BOW(彎曲度)的精確測量。而在測量過程中,特氟龍夾具的晶圓夾持方式與傳統(tǒng)的真...
測量探頭的 “溫漂” 問題,對于氮化鎵襯底厚度測量的實(shí)際影響
在半導(dǎo)體制造這一微觀且精密的領(lǐng)域里,氮化鎵(GaN)襯底作為高端芯片的關(guān)鍵基石,正支撐著光電器件、功率器件等眾多前沿應(yīng)用蓬勃發(fā)展。然而,氮化鎵襯底厚度測...
測量探頭的 “溫漂” 問題,都是怎么產(chǎn)生的,以及對于碳化硅襯底厚度測量的影響
在半導(dǎo)體制造這一高精尖領(lǐng)域,碳化硅襯底作為支撐新一代芯片性能飛躍的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料,其厚度測量的準(zhǔn)確性如同精密機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)的核心齒輪,容不得絲毫差錯(cuò)。然而,測量...
從晶圓到芯片:劃片機(jī)在 IC 領(lǐng)域的應(yīng)用
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,IC芯片的生產(chǎn)是一個(gè)極其復(fù)雜且精密的過程,劃片機(jī)作為其中關(guān)鍵的一環(huán),發(fā)揮著不可或缺的作用。從工藝流程來看,在芯片制造的后端工序中,劃片...
測量探頭的 “溫漂” 問題,對于碳化硅襯底厚度測量的實(shí)際影響
在半導(dǎo)體制造的微觀世界里,碳化硅襯底作為新一代芯片的關(guān)鍵基石,其厚度測量的精準(zhǔn)性如同精密建筑的根基,不容有絲毫偏差。然而,測量探頭的 “溫漂” 問題卻如...
不同的碳化硅襯底的吸附方案,對測量碳化硅襯底 BOW/WARP 的影響
在當(dāng)今蓬勃發(fā)展的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,碳化硅(SiC)襯底作為關(guān)鍵基礎(chǔ)材料,正引領(lǐng)著高性能芯片制造邁向新的臺階。對于碳化硅襯底而言,其 BOW(彎曲度)和 WA...
碳化硅襯底的環(huán)吸方案相比其他吸附方案,對于測量碳化硅襯底 BOW/WARP 的影響
在半導(dǎo)體領(lǐng)域,隨著碳化硅(SiC)材料因其卓越的電學(xué)性能、高熱導(dǎo)率等優(yōu)勢逐漸嶄露頭角,成為新一代功率器件、射頻器件等制造的熱門襯底選擇,對碳化硅襯底質(zhì)量...
測量探頭的 “溫漂” 問題,都是怎么產(chǎn)生的,以及對于晶圓厚度測量的影響
在半導(dǎo)體芯片制造的微觀世界里,精度就是生命線,晶圓厚度測量的精準(zhǔn)程度直接關(guān)聯(lián)著最終產(chǎn)品的性能優(yōu)劣。而測量探頭的 “溫漂” 問題,宛如精密時(shí)鐘里的一粒微塵...
在芯片制造領(lǐng)域,鍵合技術(shù)是一項(xiàng)至關(guān)重要的工藝,它直接關(guān)系到芯片的性能、可靠性以及生產(chǎn)成本。本文將深入探討芯片制造技術(shù)中的鍵合技術(shù),包括其基本概念、分類、...
測量探頭的 “溫漂” 問題,對于晶圓厚度測量的實(shí)際影響
一、“溫漂” 現(xiàn)象的本質(zhì)剖析 測量探頭的 “溫漂”,指的是由于環(huán)境溫度變化或探頭自身在工作過程中的發(fā)熱,導(dǎo)致探頭的物理特性發(fā)生改變,進(jìn)而使其測量精度出現(xiàn)...
在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展的當(dāng)下,晶圓作為芯片制造的基礎(chǔ)材料,其質(zhì)量把控貫穿整個(gè)生產(chǎn)流程。其中,晶圓的 BOW(彎曲度)測量精度對于確保后續(xù)工藝的順利進(jìn)行以及...
晶圓的環(huán)吸方案相比其他吸附方案,對于測量晶圓 BOW/WARP 的影響
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,晶圓的加工精度和質(zhì)量控制至關(guān)重要,其中對晶圓 BOW(彎曲度)和 WARP(翹曲度)的精確測量更是關(guān)鍵環(huán)節(jié)。不同的吸附方案被應(yīng)用于晶圓...
2025-01-09 標(biāo)簽:晶圓半導(dǎo)體制造Warp 278 0
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