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標(biāo)簽 > 刻蝕
刻蝕,英文為Etch,它是半導(dǎo)體制造工藝,微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當(dāng)重要的步驟。是與光刻 [1] 相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理的一種主要工藝。所謂刻蝕,實(shí)際上狹義理解就是光刻腐蝕,先通過(guò)光刻將光刻膠進(jìn)行光刻曝光處理,然后通過(guò)其它方式實(shí)現(xiàn)腐蝕處理掉所需除去的部分。
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微流控芯片加工中的PDMS軟刻蝕技術(shù)和聚合物成型介紹
微流控芯片大致可以分為三種類型:PDMS芯片、聚合物芯片(COC、PMMA、PC等)和玻璃芯片。三種不同類型的芯片各有不同的加工方法。本文主要介紹PDM...
作者:泛林集團(tuán) Semiverse Solutions 部門軟件應(yīng)用工程師 Timothy Yang 博士 01 介紹 銅的電阻率由其晶體結(jié)構(gòu)、空隙體...
武漢新芯多項(xiàng)目獲批,注冊(cè)資本增至84.79億
首先,高帶寬存儲(chǔ)器用多晶圓三維集成技術(shù)研究及其產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目旨在構(gòu)建多晶圓堆疊技術(shù)生產(chǎn)線,引進(jìn)16臺...
為刻蝕終點(diǎn)探測(cè)進(jìn)行原位測(cè)量
使用SEMulator3D?工藝步驟進(jìn)行刻蝕終點(diǎn)探測(cè) 作者:泛林集團(tuán) Semiverse Solutions 部門軟件應(yīng)用工程師 Pradeep ...
智程半導(dǎo)體完成股權(quán)融資,專注半導(dǎo)體濕法工藝設(shè)備研發(fā)
智程半導(dǎo)體自2009年起致力于半導(dǎo)體濕法工藝設(shè)備研究、生產(chǎn)與銷售事業(yè),10余載研發(fā)歷程,使得其已成為全球頂尖的半導...
芯明天P12A壓電納米掃描臺(tái)在飛秒激光刻蝕中的應(yīng)用
飛秒激光是人類在實(shí)驗(yàn)室條件下所能獲得最短脈沖的技術(shù)手段,是一種以脈沖形式運(yùn)轉(zhuǎn)的激光,持續(xù)時(shí)間非常短,只有幾個(gè)...
北方華創(chuàng)公開(kāi)“刻蝕方法和半導(dǎo)體工藝設(shè)備”相關(guān)專利
該專利詳細(xì)闡述了一種針對(duì)含硅有機(jī)介電層的高效刻蝕方法及相應(yīng)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備。它主要涉及到通過(guò)交替運(yùn)用至少兩個(gè)刻蝕...
2023-12-06 標(biāo)簽:邏輯器件半導(dǎo)體工藝刻蝕 1102 0
佰維存儲(chǔ)晶圓級(jí)先進(jìn)封測(cè)制造項(xiàng)目落地東莞松山湖!
晶圓級(jí)先進(jìn)封測(cè)是指利用光刻,刻蝕,電鍍,PVD,CVD,CMP,Strip等前期晶片制造工程,實(shí)現(xiàn)凸塊(Bumping)...
1975年,庫(kù)爾特?彼得森(Kurt Petersen)還是一名年輕聰明的研究員,當(dāng)時(shí)他剛拿到麻省理工學(xué)院電氣工程專業(yè)的博士學(xué)位...
2023-11-22 標(biāo)簽:驅(qū)動(dòng)器壓力傳感器微機(jī)電系統(tǒng) 793 0
北方華創(chuàng):12英寸CCP晶邊干法刻蝕設(shè)備已在客戶端實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)
半導(dǎo)體工程裝備、北方華創(chuàng)的主要品種是刻蝕、薄膜、清洗、熱處理、晶體生長(zhǎng)等核心技術(shù)裝備,廣泛應(yīng)用邏輯...
***產(chǎn)業(yè)鏈廠商分析 國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商迎新機(jī)遇
此前,國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公布了一項(xiàng)華為新的專利。反射鏡、光刻設(shè)備及其控制方法在極紫外光刻及核心技術(shù)上取得突破性進(jìn)展...
2023-08-09 標(biāo)簽:光刻機(jī)刻蝕半導(dǎo)體設(shè)備 2119 0
凈利增長(zhǎng)均超100%,設(shè)備依舊“兇猛”
數(shù)據(jù)顯示,上半年北方華創(chuàng)實(shí)現(xiàn)營(yíng)收78.2億元-89.5億元,同比增長(zhǎng)43.65%-64.41%,歸母凈利潤(rùn)...
各向異性刻蝕是一種減材微加工技術(shù),旨在優(yōu)先去除特定方向的材料以獲得復(fù)雜且通常平坦的形狀。濕法技術(shù)利用結(jié)構(gòu)的晶體特性在由晶體取向控制的方向...
Aston 質(zhì)譜儀對(duì)小開(kāi)口區(qū)域的蝕刻有更高的靈敏度
上海伯東日本 Aston? 質(zhì)譜儀能夠進(jìn)行準(zhǔn)確且可操作的端點(diǎn)檢測(cè), OA% 是傳統(tǒng) OES 計(jì)量解決方案的一個(gè)數(shù...
電子特種氣體是集成電路制造所必需的支撐性材料,廣泛應(yīng)用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié),對(duì)于純度、 ...
2023-06-19 標(biāo)簽:電子氣體半導(dǎo)體制造刻蝕 901 0
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