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標簽 > 光刻膠
光刻膠(Photoresist)又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹脂、增感劑和溶劑3種主要成分組成的對光敏感的混合液體。
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詳解光刻膠技術(shù)并闡述光刻膠產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀和國內(nèi)發(fā)展趨勢
光刻膠是電子領(lǐng)域微細圖形加工關(guān)鍵材料之一,是由感光樹脂、增感劑和溶劑等主要成分組成的對光敏感的混合液體。在紫外光、深紫外光、電子束、離子束等光照或輻射下...
光刻膠的組成:樹脂(resin/polymer),光刻膠中不同材料的粘合劑,給與光刻膠的機械與化學性質(zhì)(如粘附性、膠膜厚度、熱穩(wěn)定性等);感光劑,感光劑...
到2002年底浸入式技術(shù)迅速成為光刻技術(shù)中的新寵,而此前業(yè)界并沒有認為浸入式技術(shù)有如此大的功效。
光刻機的制造是一項復雜而精密的工藝,需要高度專業(yè)化的技術(shù)和設(shè)備。它涉及到許多關(guān)鍵的工藝步驟和組件,如光學系統(tǒng)、曝光光源、掩模制作等。
2023-07-04 標簽:集成電路光學系統(tǒng)光刻機 1.4萬 0
一文看懂:光刻膠的創(chuàng)新應用與國產(chǎn)替代機會
引言 ? 光刻膠又稱“光致抗蝕劑”或“光阻劑”,被廣泛應用于光電信息產(chǎn)業(yè)的微細圖形線路的加工制作,是微納制造技術(shù)的關(guān)鍵性材料。 光刻膠是光刻工藝最重要的...
隨機變化需要新方法、新工具,以及不同公司之間的合作。 極紫外(EUV)光刻技術(shù)正在接近生產(chǎn),但是隨機性變化又稱為隨機效應正在重新浮出水面,并為這項期待已...
2018-03-31 標簽:光刻膠 6027 0
合包與分包(pack and unpack,PAU)工藝被用于制備通孔陣列。與其他雙重曝光工藝不同,PAU工藝并不直接提供額外的圖形分辨率。
光刻膠可以通過光化學反應,經(jīng)曝光、顯影等光刻工序?qū)⑺枰奈⒓殘D形從光罩(掩模版)轉(zhuǎn)移到待加工基片上。依據(jù)使用場景,這里的待加工基片可以是集成電路材料,...
從下圖中可以看出結(jié)合使用XeF2氣流和氯離子轟擊的刻蝕速率最高,明顯高于這兩種工藝單獨使用時的刻蝕速率總和。
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