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本文選取近年來(lái)自組裝技術(shù)在 MEMS 方面的典型應(yīng)用實(shí)例加以介紹，總結(jié)自組裝技
術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀，并展望其在MEMS 中的應(yīng)用前景。
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