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對(duì)光電位置傳感器PSD 的結(jié)構(gòu)、工作原理、特性進(jìn)行了分析和概述; 并介紹了PSD 在二維定位測(cè)量中的應(yīng)用; 最后分析了造成系統(tǒng)誤差的主要原因。
關(guān)鍵詞: 位置傳感器; 光電器件
Abstract: The arch itectu re, p rincip le and characters of po sit ion sen sit ive detecto r are analyzed and ou t lined in the paper. The app licat ion of PSD in two2dim en sion po sit ion m easu rem en t is in t roduced. The system erro rs are also analyzed.
Key words: po sit ion sen sit ive detecto r, op toelect ron ic device
關(guān)鍵詞: 位置傳感器; 光電器件
Abstract: The arch itectu re, p rincip le and characters of po sit ion sen sit ive detecto r are analyzed and ou t lined in the paper. The app licat ion of PSD in two2dim en sion po sit ion m easu rem en t is in t roduced. The system erro rs are also analyzed.
Key words: po sit ion sen sit ive detecto r, op toelect ron ic device
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