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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>微能源

      微能源

      2009-07-11 | rar | 272 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      微電子機械系統(tǒng)(MEMS ———Micro Electro Mechanical Systems) ,是指運用微電子加工技術(shù)和微機械加工技術(shù),在較小的物理尺寸上,集成了微機械元件,微傳感器,微機械執(zhí)行器,微電子元件、電路和供能部件的器件或是系統(tǒng)。目前供能問題已經(jīng)成為MEMS 降低成本、進入實用化、自動化的最大障礙?，F(xiàn)有的一個解決方案是微能源。介紹了微能源技術(shù)的發(fā)展和技術(shù)現(xiàn)狀,分別討論了微型內(nèi)燃機系統(tǒng)、微燃料電池、微太陽電池、微型鋰電池、微型核電池等幾種微能源的制造工藝,工作特性以及應(yīng)用現(xiàn)狀。簡單分析了微能源的發(fā)展方向和應(yīng)用前景。
      關(guān)鍵詞:微電子機械系統(tǒng)(MEMS) ;微能源;制造工藝;工作特性
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