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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>基于硅結(jié)構(gòu)的微流體控制系統(tǒng)

      基于硅結(jié)構(gòu)的微流體控制系統(tǒng)

      2009-07-11 | rar | 267 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      基于硅結(jié)構(gòu)的微流體控制系統(tǒng)(μFCs) 是微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS) 中的一個(gè)重要分支,可廣泛用于生物、醫(yī)學(xué)、化工、電子等領(lǐng)域。主要綜述了微流體控制系統(tǒng)中的微流體傳感器、微型泵、微型閥的工作結(jié)構(gòu)原理及其國內(nèi)外研究現(xiàn)狀,同時(shí)還探討了集成微流體控制系統(tǒng)的研究現(xiàn)狀。
      關(guān)　鍵　詞:微機(jī)電系統(tǒng);微流體控制系統(tǒng);微流體傳感器;微型泵;微型閥
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