資料介紹
軟磁材料中存在巨磁阻抗(giant magneto2impedance ,GMI) 效應(yīng)以及與之相同來源的應(yīng)力阻抗(stress2impedance ,SI) 效應(yīng),利用這兩種效應(yīng)可以制成具有高靈敏度的微型化的磁場(chǎng)和應(yīng)力2應(yīng)變傳感器。本文基于傳感器的實(shí)際應(yīng)用,對(duì)圖形化的、較大磁致伸縮的FeSiB 單層和多層薄膜的巨磁阻抗和應(yīng)力阻抗效應(yīng)中頻率和退火的影響進(jìn)行了研究。結(jié)果表明,對(duì)于兩種效應(yīng),經(jīng)過退火處理的單層和多層膜均可在較低的頻率下得到較高的靈敏度,而多層膜中的應(yīng)力阻抗效應(yīng)將為新型高靈敏傳感器的設(shè)計(jì)和研制開辟一條嶄新的途徑。
關(guān)鍵詞 巨磁阻抗 應(yīng)力阻抗 FeSiB 薄膜 多層膜
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