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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>振梁式負(fù)壓傳感器

      振梁式負(fù)壓傳感器

      2009-07-02 | rar | 190 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      對負(fù)壓力的測量可采用各種真空計(jì)或者負(fù)壓傳感器,但其輸出量大多為非電量或模擬式電量。本文制作了一種電熱激勵的微懸臂梁諧振式負(fù)壓傳感器,它利用隨微懸臂梁振動的氣體分子等效于增加微梁慣性質(zhì)量的原理測量氣壓或氣體密度。利用Navier2Stokes 方程和連續(xù)性方程計(jì)算作用在微懸臂梁上的慣性阻力,進(jìn)而計(jì)算出諧振器諧振頻率與氣壓的關(guān)系。分析表明:增大梁的寬度,減小梁的厚度和長度可提高傳感器的靈敏度。
      關(guān)鍵詞:微懸臂梁;負(fù)壓傳感器
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