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采用擴散硅絕對壓力傳感器為檢測部件,研制出高精度絕對壓力計,重點介紹絕對壓力計的工作原理及為提高儀表精確度所進行的溫度補償。
關鍵詞: 絕對壓力計; 高精度; 溫度補償
Abstract : A high accuracy pressure gauge has been developed ,a diffused silicon absolute pressure transducer wasused as sensing element ,and theory of the absolute pressure gauge and the measures of temperature compensation for improve the accuracy of the gauge were introduced in detail.
Key words : absolute pressure gauge ; high accuracy ; temperature compensation
關鍵詞: 絕對壓力計; 高精度; 溫度補償
Abstract : A high accuracy pressure gauge has been developed ,a diffused silicon absolute pressure transducer wasused as sensing element ,and theory of the absolute pressure gauge and the measures of temperature compensation for improve the accuracy of the gauge were introduced in detail.
Key words : absolute pressure gauge ; high accuracy ; temperature compensation
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