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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>錳銅精密電阻薄膜的制備工藝研究

      錳銅精密電阻薄膜的制備工藝研究

      2009-06-27 | rar | 161 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      采用濺射技術(shù), 對薄膜沉積的相關(guān)工藝參數(shù)進行了優(yōu)化, 獲得了電阻溫度系數(shù)TCR≤±10×10- 6?℃的錳銅薄膜。該項技術(shù)為錳銅傳感器的薄膜化奠定了基礎(chǔ), 同時也可用于制作錳銅薄膜精密電阻器。
      關(guān)鍵詞　錳銅　薄膜　電阻溫度系數(shù)　濺射
      Abstract　M anganin th in film s were p repared by sput tering. The TCR s of the film s were decreased to 10× 10- 6?℃ using op t im ized depo sit ion parameters. Th is technique can be app lied to manganin th in film gauges and th in film p recision resisto rs.
      Key words　M anganin　Th in film　Temperature coefficient of resistance　Sput tering
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