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介紹了一種特殊結(jié)構(gòu)的電容式力傳感器。從結(jié)構(gòu)設(shè)計、工作原理、電路設(shè)計對該電容式力傳感器進(jìn)行了分析、論述。并且提供了相應(yīng)的實驗數(shù)據(jù)。傳感器非線性誤差小于1 %。
關(guān)鍵詞: 電容式力傳感器; 結(jié)構(gòu); 頻率變化量
Abstract : The specific structure capacitive force sensor ,principle and circuit design are introduced , the related experiment data is given out . The linear distortion of sensor is smaller than 1 %.
Key words : capacitive force sensor ; structure ; frequency variation
關(guān)鍵詞: 電容式力傳感器; 結(jié)構(gòu); 頻率變化量
Abstract : The specific structure capacitive force sensor ,principle and circuit design are introduced , the related experiment data is given out . The linear distortion of sensor is smaller than 1 %.
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