資料介紹
磁控濺射鍍膜設(shè)備主要是使用直流磁控濺射,常需要2路輸出穩(wěn)定的直流電源,設(shè)定一個(gè)電壓值后,要求快速響應(yīng)到電壓的設(shè)定值。電源使用過(guò)程中必須保持穩(wěn)定性,電壓數(shù)值不能受負(fù)載影響。然而,市面上常用的開(kāi)關(guān)電源為開(kāi)環(huán)控制,無(wú)法確保穩(wěn)定輸出,而一個(gè)穩(wěn)定的電壓對(duì)鍍膜好壞至關(guān)重要,因此設(shè)想通過(guò)PLC的PID算法,利用現(xiàn)有的直流開(kāi)關(guān)電源,實(shí)現(xiàn)電源的快速調(diào)節(jié)和閉環(huán)管理。
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