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給金屬表面注入一定的高能離子，這些離子與金屬中的元素以及真空氣氛中的某些元素在金屬表面形成一種表面臺(tái)金．借以改善金屬表面的性能。本文通過大量的實(shí)驗(yàn)和分析得知，在碳鋼中分別注入N 和Ti。在鋁中注入N ，在銑中注入Me 和po~的表面耐磨性能的改善情況；在鐵中注八Ta 和cr ． 在鋼中注入Cr +Mo+的表面耐腐蝕性能的改善情況。本文提出用真空鍍膜加離子注入的動(dòng)態(tài)混臺(tái)方法是金屬表面性能改善的一種頗有前途的新技術(shù)。
離子注入就是從離子源發(fā)出的離子經(jīng)過加速極加速到一定的能量， 由磁分析器進(jìn)行離子選擇，然后通過聚焦、掃描， 最后打到靶片上。圖1是一個(gè)離子注入機(jī)的示意圖。離子或粒子的能量不同，打到靶片上會(huì)產(chǎn)生不同的效應(yīng)。如圖2(1)所示。對(duì)于金屬中的離子注入，其離子的能量要大于l0 keV。金屬中的離子注入具有許多其它方法無(wú)法比擬的優(yōu)點(diǎn)。離子注入法與熱擴(kuò)散法不同， 它不依賴于固溶度和熱擴(kuò)散系數(shù)， 可以在室溫下注入，可以注入任何一種元素。
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