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利用微電鑄制作鎳懸臂梁:為了設(shè)計出導(dǎo)電的Ni 微變截面懸臂梁,采用了基于成熟的電鍍技術(shù)的微電鑄工藝. 在分析懸臂梁的變截面結(jié)構(gòu)和搭建微電鑄試驗平臺之后,設(shè)計了整個工藝流程,利用近紫外線厚膠光刻、Ni 微電鑄、去除犧牲層等工藝實現(xiàn)了懸臂梁的制作. 工藝實驗結(jié)果表明,整個變截面懸臂梁的鑄層表面沒有缺陷,但不同微電鑄面積的基座、粗梁、細(xì)梁的鑄層厚度不均勻,其中,鑄層面積最大的基座鑄層最厚,面積次之的粗梁的鑄層厚度居中,面積最小的細(xì)的鑄層最薄. 實驗證明在一定
范圍內(nèi)增大占空比和降低電流密度可以抑制這種厚度不均勻現(xiàn)象.
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