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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>機(jī)械制造論文>微尖的兩種制作工藝

      微尖的兩種制作工藝

      2009-12-29 | rar | 444 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      微尖的兩種制作工藝:描述各向異性腐蝕結(jié)合鍵合和各向異性腐蝕結(jié)合電鍍來(lái)制作微尖的方法,利用這兩種方法制作出了針尖直徑小于25 nm的金字塔形微尖,通過(guò)實(shí)驗(yàn)證明:這是兩種有良好可控性和工藝要求不高的制作方法。微尖的成功制作為傳感器微型化提供了一種很有潛力的新型檢測(cè)方式,解決了檢測(cè)的靈敏度問(wèn)題。
      關(guān)鍵詞: 微尖; 各向異性腐蝕; 鍵合; 電鍍
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