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提出一種可用于氣動微流控芯片氣壓控制的PDMS電磁微閥。闡述了PDMS電磁微閥的工作原理與結構，給出了電磁驅(qū)動器數(shù)學模型。建立了自感系數(shù)、線圈電流、閥芯運動電壓、機械運動和電磁吸力的仿真模型；建立了PDMS電磁微閥電磁力、閥膜彈性變形力與微流道內(nèi)氣、液作用力之間的多物理場耦合數(shù)學模型。利用MATLAB/Simulink軟件建立PDMS電磁微閥閥膜形變模型、出口流量模型，并與5個電磁驅(qū)動器子模塊連接。對電磁驅(qū)動器動態(tài)響應特性和PDMS電磁微閥流量動態(tài)特性進行仿真分析，給出了PDMS電磁微閥閥芯驅(qū)動力、閥芯響應特性和動態(tài)流量特性分析結果。
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