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非平衡磁控濺射系統(tǒng)磁場(chǎng)的半解析法:應(yīng)用電磁場(chǎng)分析中的一種新方法———半解析法，對(duì)一種典型的非平衡磁控濺射系統(tǒng)進(jìn)行了磁場(chǎng)分析) 結(jié)果表明，應(yīng)用半解析法計(jì)算，求解變量少、方法簡(jiǎn)單，而且計(jì)算精度高，該方法相對(duì)于等效源法有嚴(yán)密的理論依據(jù)，標(biāo)量位函數(shù)的表達(dá)式為級(jí)數(shù)解析式，有利于場(chǎng)強(qiáng)的計(jì)算，更有利于優(yōu)化設(shè)計(jì))
關(guān)鍵詞：非平衡磁控濺射，半解析法，標(biāo)量磁位，磁場(chǎng)強(qiáng)度
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