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半絕緣半導(dǎo)體包含了第二代和第三代半導(dǎo)體，它們在微波、光電子、新能源及微電子領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，電阻率一般在10jn．cnl_1012n．crr‘i之間。要研究此類新材料的電阻率分布狀況已無法用現(xiàn)有的探針法、霍爾法、I-V法實(shí)現(xiàn)。因此，參照德國din標(biāo)準(zhǔn)及我國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，用TDCM法研發(fā)了“半絕緣半導(dǎo)體電阻率分布測繪儀”，設(shè)計(jì)并研制了電容性探頭、高精度三維測試臺，開發(fā)了以擬合曲線為基礎(chǔ)的數(shù)據(jù)處理及繪圖軟件，實(shí)現(xiàn)了對直徑6英寸以下SiC、CJ aAs、CdZnTe等晶片的無接觸電阻率掃描測繪，給出了彩色分布圖。
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