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一種大氣微波環(huán)形波導(dǎo)等離子體設(shè)備:微波等離子體相對(duì)其它等離子體而言有很多的優(yōu)點(diǎn)，具有極高的工業(yè)應(yīng)用價(jià)值。但在大氣條件下，大體積的微波等離子體較難獲得。為達(dá)到產(chǎn)生該種微波等離子體并將之應(yīng)用的目的，特設(shè)計(jì)了一臺(tái)環(huán)形波導(dǎo)反應(yīng)腔設(shè)備并從事了等離子體激發(fā)的相關(guān)研究。介紹了該設(shè)備的設(shè)計(jì)思路，給出了常用的非磁化微波等離子體工作氣體的擊穿曲線，通過(guò)軟件仿真得到了反應(yīng)腔內(nèi)的電場(chǎng)分布，并陳述了微波等離子體反應(yīng)的基本現(xiàn)象。結(jié)合試驗(yàn)的結(jié)果，證明了軟件仿真的正確性和裝置的有效性。目前，該裝置可在大氣壓下順利激發(fā)一定體積的氦、氬等離子體。
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