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自旋閥結構薄膜及其自由層的特性研究

2009-12-14 | rar | 455 | 次下載 | 5積分

資料介紹

自旋閥結構薄膜及其自由層的特性研究
劉 鵬
(清華大學微電子學研究所,北京,100084)
摘 要:基于自旋閥結構的磁傳感器因其優(yōu)良的性能,在傳感器家族中具有越來越重要的地位。在自旋閥磁傳感器的研制過程中,自旋閥薄膜的制備與性能優(yōu)化是其中最為重要的一個環(huán)節(jié)。具有優(yōu)良特性的自旋閥薄膜是制造高性能自旋閥磁傳感器的重要基礎。本文介紹了自旋閥薄膜的特點和性能參數(shù),介紹了自由層對自旋閥性能的影響,并介紹了如何通過改進自由層結構對自旋閥薄膜的性能進行優(yōu)化。
關鍵詞:自旋閥 自由層 磁電阻率 矯頑力
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