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基于共聚焦顯微技術(shù)的共焦顯微鏡的原理及其應(yīng)用

2023-02-15 | docx | 0.26 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

基于共聚焦顯微技術(shù)的共焦顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術(shù),它通過數(shù)碼相機針孔的高強度激光來實現(xiàn)數(shù)字成像,具有很強的縱向深度的分辨能力。

 

成像原理

共焦顯微鏡裝置是在被測對象焦平面的共軛面上放置兩個小孔,其中一個放在光源前面,另一個放在探測器前面,如圖所示。

共焦顯微鏡光路示意圖

 

得到的圖像是來自一個焦平面的光通過針孔數(shù)碼相機聚焦拍攝,通過所累積的不同焦平面的圖像序列,使用軟件編譯完整的 3d 圖像。

 

能測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù),對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

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