靜電損傷失效的分析方法詳細(xì)概述

　　電子產(chǎn)品在生產(chǎn)制造過(guò)程中的靜電放電損傷是引起半導(dǎo)體器件失效的重要原因。產(chǎn)品在生產(chǎn)線上出現(xiàn)批量下線時(shí)，應(yīng)當(dāng)懷疑是否由于靜電放電引起。這種情況，不僅需要對(duì)生產(chǎn)線進(jìn)行排查，而且需要對(duì)失效器件開(kāi)展深入分析工作。失效分析在靜電放電損傷方面的應(yīng)用技術(shù)發(fā)展迅速，除了常規(guī)的外觀、電測(cè)、內(nèi)部形貌觀察等常規(guī)手段外，一些電路模擬技術(shù)、熱點(diǎn)偵測(cè)、微光顯微鏡等技術(shù)對(duì)微電子器件進(jìn)行失效定位，研究的對(duì)象也覆蓋了普通的 CMOS 集成電路、隧道場(chǎng)效應(yīng)晶體管、銦鎵氧化鋅薄膜晶體管、SiC MESFET 等類(lèi)型。一、靜電的產(chǎn)生及來(lái)源靜電是靜止不動(dòng)的帶電電荷（正電荷或者負(fù)電荷），通常存在于物體表面，它是由于物體表面局部正負(fù)電荷（電子）失衡造成。通常，靜電產(chǎn)生有三種方式：摩擦起電、界面剝離起電和感應(yīng)起電。其中，摩擦起電和剝離起電主要發(fā)生在非導(dǎo)體材料之間，如有機(jī)聚合物、木制品、橡膠、棉花和羊毛制品、人手、玻璃等，影響的因素包括：材料特性、摩擦或接觸面積、速度、環(huán)境濕度等；感應(yīng)起電主要是帶電的物體引起非導(dǎo)體材料感應(yīng)起電。不同靜電電位的兩個(gè)物體間靜電電荷的轉(zhuǎn)移過(guò)程就是靜電放電。靜電放電方式有接觸放電、空氣放電等。一般來(lái)說(shuō)，靜電只有在發(fā)生靜電放電時(shí)，才可能會(huì)對(duì)元器件造成損傷，尤其是快速放電過(guò)程。結(jié)合企業(yè)的電子制造過(guò)程，表 1 給出了電子產(chǎn)品生產(chǎn)制造過(guò)程中常見(jiàn)的可能產(chǎn)生靜電的物品和器材以及對(duì)元器件影響分析結(jié)果。

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