資料介紹
很多通信系統(tǒng)發(fā)展到某種程度都會(huì)有小型化的趨勢(shì)。一方面小型化可以讓系統(tǒng)更加輕便和有效,另一方面,日益發(fā)展的IC制造技術(shù)可以用更低的成本生產(chǎn)出大批量的小型產(chǎn)品。 MEMS(MicroElectromechanical System)是這種小型產(chǎn)品的相關(guān)技術(shù)之一。MEMS可以檢測(cè)環(huán)境的變化并通過微型電路產(chǎn)生相關(guān)反應(yīng)。MEMS的主要部分包括sensor(微傳感器)或actuator(微執(zhí)行器)和transducer(轉(zhuǎn)換裝置),其中sensor可以檢測(cè)某種物理,化學(xué)或生物的存在或強(qiáng)度,比如溫度,壓力,聲音或化學(xué)成分,transducer會(huì)把一種energy轉(zhuǎn)換成另外一種(比如從電信號(hào)到機(jī)械波)。
目前MEMS被廣泛的利用在多個(gè)領(lǐng)域里。
這篇文章主要說說MEMS的幾種RF相關(guān)應(yīng)用產(chǎn)品SAW,BAW, FBAR filter,也是目前手機(jī)中最常用的幾種filter。 SAW,BAW和FBAR中,A都代表著Acoustic。Acoustic wave中文翻譯成聲波,聲波按頻率分成3段,audio, infrasonic(次聲波) 和ultrasonic(超聲波)。 Audio的頻率為20Hz ~ 20KHz, 是人耳能聽見的范圍。 Infrasonic(次聲波)是低頻率,20Hz一下,人耳聽不到,可以用來研究地理現(xiàn)象(比如地震)。 Ultrasonic(超聲波)是20KHz到10 9KHz,也是人耳聽不到的范圍。下面提到的聲波都是超聲波的范圍,首先我們看看SAW filter。
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