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從20世紀(jì)60年代開(kāi)始，數(shù)字集成電路的工藝、制造和設(shè)計(jì)技術(shù)飛速發(fā)展，數(shù)字集成電路從最早的真空管和電子管電路，發(fā)展到以硅基半導(dǎo)體為主的集成電路。集成電路的規(guī)模從開(kāi)始的幾十個(gè)邏輯門(mén)的小規(guī)模集成電路(Small Scale Integrated，SSI)發(fā)展到單芯片數(shù)千萬(wàn)個(gè)邏輯門(mén)的極大規(guī)模集成電路(Ultra Large Scale Integrated, ULSI)，單芯片可以集成幾十億只晶體管(見(jiàn)圖1.1-1)
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