ESA、ESD和EMI的含義及其對(duì)于集成電路的影響

　　ESA（Electro Static Attraction）靜電吸附

　　我們知道IC生產(chǎn)工藝要求的是潔凈車間或超凈車間。但國(guó)內(nèi)很少有廠家能做到無(wú)塵室里一粒particle都沒(méi)有，現(xiàn)在要求灰塵顆粒粒徑由原來(lái)的0.3μm降低到現(xiàn)在的0.1μm，但如果吸附的灰塵粒子的粒徑大于線條寬度時(shí)，很容易使產(chǎn)品報(bào)廢。

　　有時(shí)候客戶會(huì)問(wèn)，我們生產(chǎn)晶片的整道工序靜電防護(hù)做的很好，該接地的都接了，要用的防靜電設(shè)備也用了，而且凈化等級(jí)做的也很高，為什么放置一段時(shí)間后還會(huì)吸灰呢？那是因?yàn)樯a(chǎn)加工晶片的機(jī)臺(tái)或工作車間都裝有FFU高效過(guò)濾器，當(dāng)氣流與產(chǎn)品進(jìn)行摩擦后就會(huì)產(chǎn)生靜電，靜電累積到一定量的時(shí)候就會(huì)吸附灰塵。所以我們建議在高效過(guò)濾器下端裝不帶氣源的靜電消除器來(lái)保證整個(gè)空間的動(dòng)態(tài)平衡。

　　ESD（Electro Static Discharge）靜電放電

　　靜電放電是電荷積累的過(guò)程，當(dāng)電荷積累到一定的程度，有個(gè)導(dǎo)體接近它就會(huì)產(chǎn)生靜電放電。舉個(gè)很簡(jiǎn)單的例子，在干燥的冬季，人走動(dòng)、摩擦后很容易積聚靜電，當(dāng)我們碰到金屬把手或開(kāi)汽車門(mén)的時(shí)候會(huì)有觸電的感覺(jué)，這就是靜電放電，一般人體帶有3000-5000V的靜電時(shí)就會(huì)有明顯放電的感覺(jué)。

　　半導(dǎo)體元器件也是同樣的道理，如果帶有一定靜電量的半導(dǎo)體器件單獨(dú)放置或裝入電路模塊時(shí)，它馬上就會(huì)被擊穿。器件受到靜電放電的影響后，有可能不會(huì)立即出現(xiàn)功能性的損壞，但會(huì)影響元器件的可靠性。

　　靜電放電造成的損失每年可達(dá)到幾十億美元以上。因此，許多大型的元件和設(shè)備制造廠引進(jìn)專業(yè)技術(shù)以減小生產(chǎn)環(huán)境中的靜電積累。

　　EMI（Electro Magnetic Interference）電子干擾