TFT基本架構(gòu)及原理

TFT基本架構(gòu)及原理
TFT ON / OFF TFT ON / OFF假想示意圖
GE 信號(hào)OFF時(shí)Source和Drain是一斷路狀態(tài)電流無(wú)法流通使pixel充電GEG-SiNxa-SiSourceDrain電流GE 信號(hào)ON時(shí)Source和Drain是一通路狀態(tài)電流由Drain經(jīng)a-Si流向Source使pixel充電Each blade Hyper-shot前后都有石英玻璃，前板的玻璃，內(nèi)側(cè)鍍有Cr，為防止particle掉在pattern上，另一側(cè)都有保護(hù)玻璃，鍍Cr理由在于其低反射率(Stepper內(nèi)部，避免光到處亂反射，因此都是采用深色高吸光率的涂料)。光路徑是固定不變的，當(dāng)采用Normal或Hyper-shot的方式時(shí)，前板、后板便移動(dòng)到光路徑上交錯(cuò)去define出所要曝光的區(qū)域。在前板的上方、后板的下方采漸層的coating，寬度大約4.0 mm (投影在Stage約5mm)，Hoper-shot關(guān)鍵在于此漸層coating(控制y軸的overlap)以及blade左、右移動(dòng)速度的control(控制x軸的overlap)，此漸層coating以及等速度的控制可以讓光有intensity變化。
shot的repeat的動(dòng)作時(shí)，因?yàn)閾?dān)心shot的接合處不佳，因此設(shè)計(jì)上會(huì)讓shot在接合處overlap 2um,在接縫處讓能量產(chǎn)生漸進(jìn)式的變化,來(lái)達(dá)成無(wú)縫的效果
使用Hyper-shot去曝overlap的區(qū)域，在y軸是采用漸層coating，而x軸則是控制速度。
Hyper-shot mode下，移動(dòng)blade的傳動(dòng)軸以x軸最為頻繁，所以在做Hyper-shot保養(yǎng)時(shí)x軸大約1個(gè)月保養(yǎng)1次，y軸則是大約半年做一次。