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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電源技術(shù)>激光晶體自動(dòng)直徑控制（ADC）技術(shù)的研究

      激光晶體自動(dòng)直徑控制（ADC）技術(shù)的研究

      2021-09-17 | pdf | 49.42KB | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      激光晶體自動(dòng)直徑控制（ADC）技術(shù)的研究-

      精密的自動(dòng)控制直徑技術(shù)是提高晶體質(zhì)量和成品率的重要途徑l。目前自動(dòng)控制提拉法生長(zhǎng)晶體，實(shí)際上都集中在如何自動(dòng)控制晶體直徑這一點(diǎn)上。自動(dòng)控徑方法有如下幾種：

      （1）光圈控徑法

      晶體生長(zhǎng)是在晶體周圍液面上存在一個(gè)隨晶體直徑的變動(dòng)而變動(dòng)的光圈。用光學(xué)系統(tǒng)對(duì)光圈取樣，利用光敏元件對(duì)光圈邊緣進(jìn)行控制，從而達(dá)到控制晶體直徑的目的

      （2）光反射法

      在晶體生長(zhǎng)時(shí)，由于熔體表面張力使晶體外延與熔體交界處形成彎月面，彎月面隨晶體直徑變化，其曲率半徑也會(huì)隨著變化，利用這點(diǎn)，當(dāng)一束經(jīng)聚焦的激光照射到熔體彎月面上會(huì)發(fā)生反射。若晶體直徑發(fā)生變化，彎月面曲率也會(huì)隨著變化，反射光就偏離原光路，根據(jù)這一訊號(hào)控制加熱功率，使反射光返回原光路，晶體恢復(fù)原來直徑，從而達(dá)到控制直徑的目的。


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      激光晶體自動(dòng)直徑控制（ADC）技術(shù)的研究.pdf 5M
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