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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電源技術>高速率微晶硅薄膜的制備及其在太陽能電池中的應用

      高速率微晶硅薄膜的制備及其在太陽能電池中的應用

      2017-11-08 | rar | 0.3 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　采用甚高頻等離子體增強化學氣相沉積技術 ，在相對較高氣壓和較高功率條件下 ，制備了不同硅烷濃度的微晶硅材料。 材料沉積速率隨硅烷濃度的增加而增大 ，通過對材料的電學特性和結(jié)構(gòu)特性的分析得知 獲得了沉積速率超過 1nm/ s 高速率器件質(zhì)量級微晶硅薄膜 ，并且也初步獲得了效率達 613 %的高沉積速率微晶硅太陽電池。

      　　本文采用甚高頻等離子體增強化學氣相沉積技術 ，在較高氣壓和較高功率的前提條件下 ，獲得了沉積速率達 1 nm/ s 以上的器件級微晶硅薄膜 ，微晶硅薄膜太陽電池的效率也達到了 6.3 %。

      高速率微晶硅薄膜的制備及其在太陽能電池中的應用

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