資料介紹
單晶 Si 太陽能電池一般有 p 型襯底上擴(kuò)散 n型雜質(zhì)和 n 型襯底上擴(kuò)散 p 型雜質(zhì)兩種。在 Silvaco工藝仿真環(huán)境Athena 下, 形成 pn 結(jié)太陽能電池的基本工藝流程。相關(guān)語句關(guān)鍵詞如圖 1 所示
根據(jù)圖 1 所示的工藝流程, 本文選擇 p 型單晶Si 襯底, 襯底晶向為《 100》 , 襯底電阻率定義為1 ::cm, n 型摻雜濃度為1 : 1017/ cm3。設(shè)置器件厚度為150 :m, 長度為10 :m, 寬度選擇默認(rèn)值1 :m,仿真得到結(jié)深約為0:35 :m的單晶 Si pn 結(jié)太陽能電池, 其結(jié)構(gòu)示意圖如圖 2 所示
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