資料介紹
本文介紹了薄膜體聲波諧振器(FBAR)的基本原理和幾種主要結(jié)構(gòu)。討論了FBAR薄膜生長的工藝過程,并給出了本實(shí)驗(yàn)各層薄膜的生長條件,本試驗(yàn)所制作的FBAR采用固態(tài)裝配型結(jié)構(gòu),經(jīng)測量得FBAR的諧振頻率為1.7GHZ。最后根據(jù)FBAR諧振頻率隨著電壓變化的特性設(shè)計(jì)出基于FBAR的Colpitts壓控振蕩器,解決了由于在壓控振蕩器中使用變?nèi)?a target='_blank' class='arckwlink_none'>二極管作為調(diào)頻元件所引入大量的噪聲造成振蕩器整體性能降低的問題。
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