資料介紹
激光加工是一種研究激光與材料相互作用的技術,也是國家重點支持和推動應用的一項高新技術,近些年我國激光加工機的銷售額年增長率保持在20%左右 [1]。發(fā)達國家的加工業(yè)已逐步進入“光加工”時代。目前,一些國際性大公司積極采用先進的激光加工技術,以提高產品的競爭力,其中納秒脈沖激光的微細加工已成為加工技術發(fā)展的前沿之一。
納秒脈沖激光微加工系統(tǒng)以納秒脈沖激光作為光源,光束經過光路系統(tǒng)調整會聚后照射到載物臺上,配合運動平臺的運動,完成微結構的加工。系統(tǒng)對控制單元的要求很高,包括圖形的編輯、數(shù)據(jù)處理能力和同步的運動控制算法?,F(xiàn)有激光加工機的控制單元多采用2種控制方式[2,3]:(1)基于PC的系統(tǒng),運算能力強大,可實現(xiàn)圖形編輯等功能,但是不能脫離PC獨立運行,成本高;(2)以單處理器為核心的方式,缺點是單處理器的運算能力有限,很難實現(xiàn)高速和復雜圖形的加工。數(shù)字信號處理芯片DSP和現(xiàn)場可編程門陣列FPGA的出現(xiàn),為加工系統(tǒng)控制單元的性能提升提供了新的手段。本文利用上位機Visual C++軟件平臺實現(xiàn)圖形的解析和編輯功能,利用DSP的高速數(shù)字信號處理能力和FPGA的多路并行處理能力,設計了系統(tǒng)的控制硬件,使納秒脈沖激光微加工系統(tǒng)的加工效果更好。
1 系統(tǒng)整體結構
納秒脈沖激光微加工系統(tǒng)主要包括:控制單元、激光器、機械結構和光路系統(tǒng)四部分。系統(tǒng)結構如圖1所示。
激光器是系統(tǒng)的加工工具,采用美國相關公司的AVIA-355 nm脈沖激光器。不同于早期的連續(xù)激光,此激光器有更多的參數(shù)和模式選擇,包括激光脈沖頻率﹑激光脈沖寬度和激光能量等,并且可以選擇是單脈沖加工、多脈沖加工還是連續(xù)脈沖加工,使得激光器的控制難度大大高于對連續(xù)激光器的控制。
運動平臺和光路系統(tǒng)作為加工的硬件部分,需要根據(jù)激光器的指標和要實現(xiàn)的加工精度進行設計。本系統(tǒng)的二維運動平臺為步進電機驅動的絲杠螺桿傳動的平臺,行程是200 mm×200 mm,運動速度最大為40 mm/s,32細分下分辨率是650 nm。平臺采用57步進電機驅動。電機驅動器采用雷賽M335B型號,輸入方向和速度驅動信號便可實現(xiàn)步進電機的運動控制,并具有良好的精度。載物臺放于運動平臺上方,配有吹氣裝置,通過控制出氣孔的大小來控制出氣壓力。光學系統(tǒng)包括反射鏡片組,半透半反鏡片,聚焦物鏡和CCD共焦調整鏡片。反射鏡片鍍有 355 nm波長的反射膜,反射率達到99%。聚焦物鏡將激光聚焦到物體表面,聚焦后光斑直徑小于20 μm。CCD主要用于調焦和加工的觀察。
控制單元是加工系統(tǒng)的關鍵部分,包括上位機和下位機兩部分。上位機主要完成加工圖形方面的工作,實現(xiàn)圖形文件的解析、圖形修改和參數(shù)設置等功能,然后將這些矢量數(shù)據(jù)和加工參數(shù)通過預先設定的數(shù)據(jù)格式傳輸給下位機;下位機則借助先進的集成電路技術,完成對系統(tǒng)其他單元的控制。所以下位機系統(tǒng)需要有完善的控制算法,在進行系統(tǒng)設計時需要重點研究。
2 控制單元
控制單元是激光加工設備的關鍵部件,其性能直接決定了激光加工的質量,尤其是圖形數(shù)據(jù)的處理和適當?shù)目刂萍夹g是激光加工系統(tǒng)的關鍵部分。國外很多優(yōu)秀激光加工設備主要依賴于高性能的數(shù)控系統(tǒng)才得以實現(xiàn)各種高質量的加工。本系統(tǒng)控制單元分為上位機的圖形解析軟件和下位機的硬件系統(tǒng)。
納秒脈沖激光微加工系統(tǒng)以納秒脈沖激光作為光源,光束經過光路系統(tǒng)調整會聚后照射到載物臺上,配合運動平臺的運動,完成微結構的加工。系統(tǒng)對控制單元的要求很高,包括圖形的編輯、數(shù)據(jù)處理能力和同步的運動控制算法?,F(xiàn)有激光加工機的控制單元多采用2種控制方式[2,3]:(1)基于PC的系統(tǒng),運算能力強大,可實現(xiàn)圖形編輯等功能,但是不能脫離PC獨立運行,成本高;(2)以單處理器為核心的方式,缺點是單處理器的運算能力有限,很難實現(xiàn)高速和復雜圖形的加工。數(shù)字信號處理芯片DSP和現(xiàn)場可編程門陣列FPGA的出現(xiàn),為加工系統(tǒng)控制單元的性能提升提供了新的手段。本文利用上位機Visual C++軟件平臺實現(xiàn)圖形的解析和編輯功能,利用DSP的高速數(shù)字信號處理能力和FPGA的多路并行處理能力,設計了系統(tǒng)的控制硬件,使納秒脈沖激光微加工系統(tǒng)的加工效果更好。
1 系統(tǒng)整體結構
納秒脈沖激光微加工系統(tǒng)主要包括:控制單元、激光器、機械結構和光路系統(tǒng)四部分。系統(tǒng)結構如圖1所示。
激光器是系統(tǒng)的加工工具,采用美國相關公司的AVIA-355 nm脈沖激光器。不同于早期的連續(xù)激光,此激光器有更多的參數(shù)和模式選擇,包括激光脈沖頻率﹑激光脈沖寬度和激光能量等,并且可以選擇是單脈沖加工、多脈沖加工還是連續(xù)脈沖加工,使得激光器的控制難度大大高于對連續(xù)激光器的控制。
運動平臺和光路系統(tǒng)作為加工的硬件部分,需要根據(jù)激光器的指標和要實現(xiàn)的加工精度進行設計。本系統(tǒng)的二維運動平臺為步進電機驅動的絲杠螺桿傳動的平臺,行程是200 mm×200 mm,運動速度最大為40 mm/s,32細分下分辨率是650 nm。平臺采用57步進電機驅動。電機驅動器采用雷賽M335B型號,輸入方向和速度驅動信號便可實現(xiàn)步進電機的運動控制,并具有良好的精度。載物臺放于運動平臺上方,配有吹氣裝置,通過控制出氣孔的大小來控制出氣壓力。光學系統(tǒng)包括反射鏡片組,半透半反鏡片,聚焦物鏡和CCD共焦調整鏡片。反射鏡片鍍有 355 nm波長的反射膜,反射率達到99%。聚焦物鏡將激光聚焦到物體表面,聚焦后光斑直徑小于20 μm。CCD主要用于調焦和加工的觀察。
控制單元是加工系統(tǒng)的關鍵部分,包括上位機和下位機兩部分。上位機主要完成加工圖形方面的工作,實現(xiàn)圖形文件的解析、圖形修改和參數(shù)設置等功能,然后將這些矢量數(shù)據(jù)和加工參數(shù)通過預先設定的數(shù)據(jù)格式傳輸給下位機;下位機則借助先進的集成電路技術,完成對系統(tǒng)其他單元的控制。所以下位機系統(tǒng)需要有完善的控制算法,在進行系統(tǒng)設計時需要重點研究。
2 控制單元
控制單元是激光加工設備的關鍵部件,其性能直接決定了激光加工的質量,尤其是圖形數(shù)據(jù)的處理和適當?shù)目刂萍夹g是激光加工系統(tǒng)的關鍵部分。國外很多優(yōu)秀激光加工設備主要依賴于高性能的數(shù)控系統(tǒng)才得以實現(xiàn)各種高質量的加工。本系統(tǒng)控制單元分為上位機的圖形解析軟件和下位機的硬件系統(tǒng)。
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