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由于器件尺寸由90mm技術(shù)節(jié)點(diǎn)向 65mm節(jié)點(diǎn)的縮進(jìn)，在前道工藝的濕法清洗中去除0.1um及更小尺寸的污染粒子正在成為一種新的技術(shù)挑戰(zhàn)。評(píng)價(jià)了在向65mm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的邁進(jìn)中，器件的新結(jié)構(gòu)、新材料對(duì)于清洗設(shè)備提出的各種技術(shù)挑戰(zhàn)及應(yīng)對(duì)無(wú)損傷和抑制腐蝕損傷的清洗技術(shù)。指出了單片式清洗技術(shù)的應(yīng)用前景及干法清洗與濕法清洗技術(shù)共存的可能性。
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