資料介紹
化學(xué)機械拋光(chemical mechanical polishing,簡稱CMP)技術(shù)幾乎是迄今惟一的可以提供全局平面化的表面精加工技術(shù),可廣泛用于集成電路芯片、計算機硬磁盤、微型機械系統(tǒng)(MEMS)、光學(xué)玻璃等表面的平整化該文綜述了CMP技術(shù)的研究現(xiàn)狀,指出了CMP急待解決的技術(shù)和理論閥題,并對其發(fā)展方向進行了展望.
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