資料介紹
激光切割技術(shù)因具有無接觸性、切縫窄、工件變形小等特點(diǎn),在各類材料加工領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。激光精密加工成的工件質(zhì)量與機(jī)電伺服控制系統(tǒng)密切相關(guān)。傳統(tǒng)的由旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動機(jī)械速度變換的傳動機(jī)構(gòu)因齒隙的存在易造成切割工作臺的跳動。而永磁直線同步電機(jī)( Permanent Magnet Linear Synchronous Motors,PMLSM)定位精度高、推力大、響應(yīng)速度快、無機(jī)械傳動結(jié)構(gòu),因此在數(shù)控機(jī)床、半導(dǎo)體制造等精密激光切割控制系統(tǒng)中具有廣泛的應(yīng)用前景。
PMLSM伺服系統(tǒng)存在周期性的推力波動、模型非線性和參數(shù)變化(摩擦系數(shù)、動子質(zhì)量、繞組電阻等)等不確定性,對控制系統(tǒng)的動態(tài)性能產(chǎn)生很大影響。同時,因取消了傳動結(jié)構(gòu)而直接驅(qū)動負(fù)載造成了干擾信號直接作用于PMLSM上,這也使得控制系統(tǒng)對負(fù)載擾動及參數(shù)變化較為敏感。特別是在電機(jī)低速運(yùn)行時較易發(fā)生機(jī)械振動和噪聲,降低了伺服系統(tǒng)的跟蹤性能。為了提高PMLSM伺服控制系統(tǒng)性能,應(yīng)對摩擦和擾動進(jìn)行補(bǔ)償,尤其應(yīng)對低速運(yùn)行時的摩擦和擾動進(jìn)行消除或補(bǔ)償。
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