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針對(duì)磨粒流拋光中對(duì)超聲發(fā)生器的功能有特殊要求的問(wèn)題，專門(mén)設(shè)計(jì)制作了一種超聲波發(fā)生系統(tǒng)，探討了超聲波發(fā)生器的3個(gè)主要組成部分即換能器、變幅桿和超聲電源，研究了各部分的設(shè)計(jì)理論和具體參數(shù)的選擇，指出了利用智能功率模塊設(shè)計(jì)制作的超聲發(fā)生器，有線路簡(jiǎn)單、體積小、功能全、成本低、性能好的優(yōu)勢(shì)，介紹了以FNA41560為主要功率元器件的超聲發(fā)生器的設(shè)計(jì)，包括了主電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)、保護(hù)、控制策略、阻抗匹配、頻率跟蹤、換能器、變幅桿等方面的內(nèi)容，該樣機(jī)在實(shí)際加工中獲得了很好的效果。研究結(jié)果表明：在低頻超聲波發(fā)生器的領(lǐng)域，功率模塊結(jié)合微處理器控制技術(shù)，有其他電子器件無(wú)法比擬的優(yōu)勢(shì)。
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