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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>無線通信>高壓鉑擴散快恢復二極管的研究

      高壓鉑擴散快恢復二極管的研究

      2009-04-03 | rar | 226 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      本文對高壓快恢復二極管的結構設計和制造工藝進行了深入分析，確定了合理的結構參數(shù)和先進的工藝流程。選用合適的電阻率和厚度的N 型直拉硅單晶片，采用磷硼紙源擴散，精確控制基區(qū)寬度形成P+NN+結構；采用鉑液態(tài)源擴散降低少數(shù)載流子壽命τ從而縮短反向恢復時間trr；化學腐蝕形成臺面提高反向擊穿電壓；玻璃鈍化保護PN 結減小表面污染從而降低表面漏電流提高耐壓；雙面鍍鎳金進行金屬化等技術。得到較為理想的反向擊穿電壓VBR，正向壓降VF，反向恢復時間trr 三參數(shù)之間的折衷。器件性能優(yōu)良，可靠性高，樣品通過150°C/ 168 小時的高溫反偏實驗。
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