掩膜式壓力傳感器技術(shù)的成熟度詳細(xì)分析

　　根據(jù)技術(shù)成熟度模型，掩膜式壓力傳感器是典型的高技術(shù)產(chǎn)品，其技術(shù)的創(chuàng)新提高到商品同樣要經(jīng)過四個(gè)階段，第一階段進(jìn)行基礎(chǔ)研究，第二階段進(jìn)行應(yīng)用研究，第三階段進(jìn)行產(chǎn)品開發(fā)，第四階段進(jìn)行產(chǎn)品生產(chǎn)。

　　當(dāng)傳感器產(chǎn)品進(jìn)入市場后，合作伙伴和用戶一般會(huì)進(jìn)行各種反饋，生產(chǎn)者也會(huì)主動(dòng)收集用戶反饋，以便更好地開發(fā)和服務(wù)。反饋過程相應(yīng)也有四級(jí)，第一級(jí)反饋到產(chǎn)品生產(chǎn)階段，第二級(jí)反饋到產(chǎn)品開發(fā)階段，第三級(jí)反饋到應(yīng)用研究階段，第四級(jí)反饋到基礎(chǔ)研究階段。其中第一級(jí)反饋主要解決的是產(chǎn)品質(zhì)量和成本問題，第二級(jí)反饋主要解決的是產(chǎn)品工藝問題，第三級(jí)反饋主要解決的是新產(chǎn)品開發(fā)問題，第四級(jí)反饋則是針對(duì)最基本的自然規(guī)律的認(rèn)識(shí)問題。

　　掩膜式壓力傳感器技術(shù)的基礎(chǔ)研究，主要為掩膜電路優(yōu)化設(shè)計(jì)，即研究對(duì)壓力敏感的、線性可測的掩膜電路，該理論研究非常成熟，有各種優(yōu)化方案。掩膜技術(shù)本來也是基礎(chǔ)研究的內(nèi)容，現(xiàn)在已經(jīng)十分成熟，就不當(dāng)做問題探討了。

　　應(yīng)用研究主要探討不同溫度、濕度、壓力和環(huán)境范圍（主要指液壓、氣壓或固壓，酸堿性或腐蝕性等環(huán)境）對(duì)掩膜傳感器的要求，或研究各種掩膜傳感器適應(yīng)的需求。在此階段，有幾個(gè)技術(shù)問題長期困擾研究者：

　　一、溫度敏感問題

　　壓力傳感器中的掩膜電路隨著溫度變化會(huì)產(chǎn)生誤差，有時(shí)可能嚴(yán)重到傳感器失效的程度。溫度不敏感的傳感器，一般屬于高端產(chǎn)品。

　　二、高阻抗困難

　　阻抗高（5K歐姆以上），則損耗小。尤其是航天和軍事應(yīng)用對(duì)此有嚴(yán)格要求，具備高阻抗的傳感器一般屬于高端產(chǎn)品。
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