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與其它幾乎所有的氣體不同，氧氣有順磁性。0XYMAT 61型氧分析儀正是利用了這一原理來測量OZ 濃度。在不均勻磁場中，氧分子由于順磁性，朝強(qiáng)磁場方向移動。當(dāng)不同氧氣濃度的： 二種氣體在同一磁場相遇時，他們之間就會產(chǎn)生一個壓力差。
微流量傳感器中有兩個被加熱到大約120*C 的鎳格柵，這兩個鎳格柵和兩個輔助電阻形成惠斯通電橋。變化的氣流導(dǎo)致鎳格柵的電阻發(fā)生變化。這使電橋產(chǎn)生偏移。該偏移數(shù)值大小決定于樣氣中的氧濃度。微流量傳感器位于參比氣路中，不直接接觸樣氣，所以樣氣的導(dǎo)熱、比熱和樣氣的內(nèi)部摩擦對測量結(jié)果都不產(chǎn)生任何影響，同時，這也避免了樣氣對微流量傳感器的腐蝕，使得微流量傳感器的抗腐性能大大提高。通過變化磁場強(qiáng)度，使得微流量傳感器上的背景氣流不被檢測。儀器擺放的方向因而對測量也無影響。OXYMAT 61型氧分析儀的響應(yīng)時間非常短。因?yàn)闃託馐抑苯优c樣氣氣路相連，并且體積小，使微流量傳感器響應(yīng)迅速。
注意樣氣中不能含有塵埃，樣氣室里不能有冷凝物，這就是為何需要做樣氣預(yù)處理工作。
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