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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>FSG系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器用戶手冊(cè)

      FSG系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器用戶手冊(cè)

      2011-01-11 | rar | 659 | 次下載 | 10積分

      資料介紹

      簡(jiǎn)介

      FSG系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)并配以多種信號(hào)輸出，通過通訊接口可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)化管理功能。

      產(chǎn)品特點(diǎn)：
      傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量
      傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量
      在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高；
      傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
      全量程高穩(wěn)定性
      全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
      低功耗
      低壓損
      響應(yīng)時(shí)間快

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