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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>擴(kuò)散硅系列固態(tài)傳感器

      擴(kuò)散硅系列固態(tài)傳感器

      2010-12-29 | rar | 966 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      擴(kuò)散硅系列固態(tài)傳感器是采用MEMS技術(shù)制作的一種新型傳感器，內(nèi)部管芯真正實(shí)現(xiàn)了力敏電阻和硅單晶彈性體一體化的結(jié)構(gòu)。具有靈敏度高、線性好、無滯后、反應(yīng)快等優(yōu)點(diǎn)。在設(shè)計(jì)中采用梁-膜或膜-島的先進(jìn)結(jié)構(gòu)，使芯片本身具有應(yīng)力集中、非線性內(nèi)補(bǔ)償?shù)忍攸c(diǎn)。并且在芯片的邊框上制作零點(diǎn)溫漂的電阻補(bǔ)償網(wǎng)絡(luò)，使芯片具有最小的零點(diǎn)溫漂系數(shù)。主要品種有高靈敏度的微壓傳感器、硅基SOI結(jié)構(gòu)高溫低漂移壓力傳感器、微型硅加速傳感器和微量程肌張力傳感器等。其中靈敏度最高的品種其量程只有0.5kpa(5cm水柱)，而且正面可承受一百倍量程以上的過壓而不破壞，為目前國內(nèi)最高水平。多年來，上述各類傳感器為許多工廠、醫(yī)療、科研單位廣泛使用，受到好評(píng)。
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