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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>步進(jìn)電動機(jī)高精度細(xì)分方法及其控制系統(tǒng)

      步進(jìn)電動機(jī)高精度細(xì)分方法及其控制系統(tǒng)

      2010-05-24 | rar | 278 | 次下載 | 10積分

      資料介紹

      步進(jìn)電動機(jī)高精度細(xì)分方法及其控制系統(tǒng)

      本論文題目來自對現(xiàn)有橢偏儀進(jìn)行技術(shù)改進(jìn)工作中的“用步進(jìn)電機(jī)取代傳統(tǒng)直流減速電機(jī)”的研究課題。橢圓偏振測量技術(shù)是一種測量薄膜厚度和研究其表面特性的先進(jìn)方法，具有靈敏度高、精度高、實時和無損樣品的優(yōu)點。

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