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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>微機電系統(tǒng)MEMS

      微機電系統(tǒng)MEMS

      2009-11-16 | rar | 223 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      MicroElectroMechanical Systems, MEMS, are systems based on a range of techologies whereby tiny mechanical elements, both sensors and actuators, can be implemented.It turns out that these elements have excellent system properties.The elements are often interfaced to microelectronical driving or sensing components (ICs) by appropriate packaging or on the same silicon wafer. The semiconductor silicon is not only good for making electronics but its material properties are extremely good.
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