壓阻式微壓力傳感器的設(shè)計(jì)及制作

摘要：微壓力傳感器是微機(jī)電領(lǐng)域最早開(kāi)始研究并且實(shí)用化的微器件之一，它結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、用途廣?；趬鹤栊?yīng)、惠
斯頓電橋等相關(guān)知識(shí)設(shè)計(jì)了一種壓阻式微壓力傳感器。為增大靈敏度，設(shè)計(jì)了一種折彎形的壓敏電阻?；谝恍┫嚓P(guān)的
微加工工藝制定了制作這種微傳感器的工藝流程并且制作成功了傳感芯片。設(shè)計(jì)了一個(gè)處理電路去獲得此傳感器的輸
出信號(hào)，它由兩級(jí)放大電路和兩級(jí)巴特沃斯低通濾波電路組成。最后利用這個(gè)測(cè)試系統(tǒng)檢測(cè)出了隨壓力變化而發(fā)生變化
的微電壓信號(hào)。
關(guān)鍵詞：微機(jī)電系統(tǒng)；壓阻式；微傳感器；測(cè)試系統(tǒng)

微機(jī)電系統(tǒng)（AQA?）是在微電子相關(guān)技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)
的一門(mén)多學(xué)科交叉前沿學(xué)科，它采用半導(dǎo)體工藝技術(shù)，把微機(jī)
械結(jié)構(gòu)和電路集成在一起，具有體積小、質(zhì)量輕、功耗低、成本
低等優(yōu)點(diǎn)。微傳感器是最早開(kāi)始研制的微機(jī)電器件，也是微機(jī)
電技術(shù)中相對(duì)最成熟、最早開(kāi)始產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)品。微壓力傳感器
在整個(gè)AQA? 行業(yè)，無(wú)論是設(shè)計(jì)研究，還是產(chǎn)業(yè)應(yīng)用中都占主
要地位。就其傳感原理來(lái)說(shuō)，微壓阻式、微電容式、微諧振式是
當(dāng)今微壓力傳感器的# 種最常見(jiàn)的形式。其中，微壓阻式結(jié)構(gòu)
最簡(jiǎn)單，制作工藝及步驟也最容易，缺點(diǎn)是其相關(guān)性能不如其
他兩種好［&］。
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