NightN光學(xué)表面形貌測(cè)試儀HION
型號(hào):
HION
NightN光學(xué)表面形貌測(cè)試儀HION
產(chǎn)品介紹:
光學(xué)測(cè)試儀HION用于光學(xué)表面測(cè)試。該技術(shù)基于 Shack-Hartmann 方法。激光束從被測(cè)光學(xué)表面反射并進(jìn)入 Shack-Hartmann 波前傳感器進(jìn)行進(jìn)一步處理。
產(chǎn)品規(guī)格:
1. 光學(xué)孔徑:10 至 50 mm(可選300 mm)
2. 測(cè)量時(shí)間:10 ms
3. 測(cè)量精度:32 nm (P-V)
4. 測(cè)量偏差:5 μm(P-V)
5. 光源:二極管激光器
6. 光源波長(zhǎng):0.65 μm
7. CCD/CMOS相機(jī)
結(jié)果輸出:
1. 峰-谷誤差P-V,均方根(RMS)
2. 將像差展開為Seidel 和 Zernike 多項(xiàng)式(傾斜、散焦、像散等)
3. 2D 和 3D 波前,干涉條紋