中圖儀器SJ5730表面輪廓儀探針式是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的高精度測量儀器，該儀器具有12mm-24mm的粗糙度輪廓一體式測量范圍，分辨率達到0.1nm，因此非常適合測量大曲面高精密零部件的輪廓參數(shù)測量，同時具備球面、弧面、非球面輪廓參數(shù)評價功能，能夠滿足各種高精密輪廓粗糙度加工行業(yè)的測量需求。
技術(shù)參數(shù)
| 型號 | SJ5730-100 | ||
輪廓參數(shù) |
測量范圍 | X軸 | 0~100mm |
| 立柱軸 | 0~300mm | ||
| Z軸 | ±6mm（標(biāo)準(zhǔn)測桿）（±12mm：兩倍標(biāo)準(zhǔn)測桿） | ||
| 分辨率 | X軸：10nm，Z軸：1nm、0.1nm | ||
測量精度 | 角度精度 | ≤0.5’ *備注：精度驗證以測量多面棱體角度為準(zhǔn) | |
| Z軸輪廓精度 | ≤±（0.5+0.03Z）μm（H，mm） | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)圓弧Pt精度 | Pt≤0.4μm *備注：25mm以下標(biāo)準(zhǔn)球Pt測試 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)球測量誤差 | ≤±1μm（R≤10mm），≤±（0.17+R/12）μm（10 *備注：精度驗證以測量標(biāo)準(zhǔn)球弧度超過90度為準(zhǔn) | ||
| 移動速度 | X軸 | 0~20mm/s | |
| 立柱軸 | 0~20mm/s | ||
掃描速度（掃描軸） | 0.05～5mm/s | ||
| 直線度（掃描軸） | ≤（0.05+1.5L/1000）μm *備注：≤0.2μm/100mm | ||
| 測量力 | 0.5mN、0.75mN、1mN、2mN、3mN（電子檔位可調(diào)） | ||
粗糙度參數(shù) | 適用Ra測量范圍 | Ra0.012μm~Ra12.5μm（可選更大范圍） | |
| 示值誤差 | Ra： ≤±(3nm+2.0%A)（A：測量Ra標(biāo)稱值） | ||
| 重復(fù)性(1δ) | 1δ≤1nm *備注：0.1-0.2μm方波粗糙度樣塊、標(biāo)準(zhǔn)臺階塊測試 | ||
| 殘值噪聲 | Rq≤2nm *備注：1納米級粗糙度樣塊、平晶測試 | ||
粗糙度測量參數(shù) | R粗糙度： Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,Rdq,Rdc,Rmr,Rmax,Rpm,tp,Htp,Pc,Rda,Ry,Sm,S,RzJ； Ra,Rq,Rz,Rmax,RPc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,RSm,Sm,S,Rsk,Rku,Rdq,Rdc,Rmr； 核心粗糙度Rcore: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo； P輪廓參數(shù)： Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Pdc,Pc,PPc,Pmr,Rad,PzJ,Pmax； W波紋度輪廓參數(shù)： Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr,Wpc,Wc； Motif參數(shù)：R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte； 符合標(biāo)準(zhǔn)： GB/T3505-2009,ISO4287:1997,ISO 13565-2:1996,ASME B46.1-2002, DIN/EN/ISO 4287:2010,JIS B 0601:2013,JIS B 0601-1994JIS B 0601-1982, ISO 1302:2002； | ||
| 濾波器 | 高斯濾波器、2RC濾波器，相位修正濾波器 | ||
| 濾波長度 | 0.08、0.25、0.8、2.5、8.0、25mm可選 | ||
| 濾波長度 | λc×3、4、5、6、7、8可選 | ||
儀器尺寸（長×寬×高） | 600×350×850（mm） | ||
| 儀器總重量 | 約95Kg | ||
產(chǎn)品功能
1.SJ5730表面輪廓儀探針式一次測量可同時評定粗糙度及輪廓參數(shù)，分析評定R參數(shù)、P參數(shù)、W參數(shù)等微觀粗糙度參數(shù)及倒角、R角、直線度、位置尺寸、角度的宏觀輪廓參數(shù)；
2.表面粗糙度評定： R參數(shù)、P參數(shù)、W參數(shù)、核心粗糙度Rcore、Motif等微觀粗糙度參數(shù)評定；
3.圓球類零件輪廓及粗糙度參數(shù)測量評定；
4.表面輪廓評定：評定任何點/線間距、兩線夾角、圓弧半徑、直徑等幾何量尺寸參量，并可對輪廓進行直線度、圓度、輪廓度、平行度、位置度、垂直度等分析，重新分析和測量的操作簡潔高效；
5.尺寸標(biāo)注：半徑、兩圓中心距離、X/Z尺寸、斜邊、兩線夾角、直線相交、直線與圓弧相交、圓弧與圓弧相交、尺寸標(biāo)注線大小修改、線偏移、局部輪廓放大和調(diào)平等；
6.測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢測員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理測量記錄；
7.輸出多種格式報表(.doc，.docx，.xlsx，.pdf)，并支持自定義報表，定制測量記錄報表，可批量打印記錄表，具有數(shù)據(jù)備份和還原數(shù)據(jù)庫功能；
8.具備自動找拐點功能，能按照程序設(shè)置進行X軸自動找拐點；
9.成熟簡單的標(biāo)定，儀器自帶高精度組合標(biāo)定臺，可對儀器的精度和測針磨損進行精確補償；
10.可進行DXF（CAD）格式圖紙導(dǎo)入，進行理論圖紙與測量結(jié)果比對分析，可提供直觀圖形對比；
11.可導(dǎo)出坐標(biāo)點數(shù)據(jù)（.TXT）等格式，可讀取到Excel或者CAD軟件內(nèi)進行數(shù)據(jù)分析及標(biāo)準(zhǔn)輪廓比對；
12.可對多次測量的輪廓曲線匹配后進行分析測量重復(fù)性。
性能特點
1、一次測量同時評定輪廓和粗糙度參數(shù)
超高精度衍射光學(xué)測量系統(tǒng)，具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，分辨率高達0.1nm，系統(tǒng)殘差小于2nm。
2、高精度、高穩(wěn)定性、高重復(fù)性：滿足被測件測量精度要求
1)系統(tǒng)掃描軸采用特殊的超高耐磨材質(zhì)復(fù)合材質(zhì)摩擦片，耐磨性能優(yōu)良，穩(wěn)定性高，能保障系統(tǒng)長時間的穩(wěn)定的直線度精度；
2)高精度轉(zhuǎn)軸采用特殊的高剛性、低慣量、超低摩擦系數(shù)的紅寶石轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)，確保了轉(zhuǎn)動的超高靈敏度及測量精度；
3)超高穩(wěn)定的驅(qū)動設(shè)計，確保了驅(qū)動運行過程中不產(chǎn)生任何的振動及干擾，保障了系統(tǒng)掃描運動精度；
4)高精度的納米級光學(xué)轉(zhuǎn)軸測量系統(tǒng)，保障了儀器超高的分辨率及全程納米級粗糙度測量精度；
5)一體式拔插式碳纖維測桿、高剛性、低慣量，一鍵拔插，特殊設(shè)計的高剛性拔插結(jié)構(gòu)，無需鎖螺釘，方便快捷、穩(wěn)定可靠；
3、智能化管理與軟件分析系統(tǒng)
儀器操作界面友好，操作者易掌握儀器基本操作，使用十分簡便。
1)10多年積累的實用檢測軟件設(shè)計經(jīng)驗，向客戶提供簡潔、實用、快速的操作體驗；
2)智能化分析及記錄，同批次可自動測量和分析，大幅度減少人員的操作要求及降低人員的勞動強度；
3)測量范圍廣，可滿足絕大多數(shù)類型的工件粗糙度輪廓測量要求；
4)非球面專用軟件分析功能模塊，一鍵式快速測量非球面光學(xué)鏡片；
5)可自動和手動選取被測段進行評定，可依據(jù)客戶要求進行軟件功能的定制；
6)純中文操作軟件系統(tǒng)，更好的為國內(nèi)用戶服務(wù)；
7)可打印各種格式的檢定報告，自動顯示、打印、保存、查詢測量記錄，打印格式正規(guī)、美觀；檢定數(shù)據(jù)可存檔，或集中打印，不占用檢定操作時間；
8)本儀器采用計算機大容量數(shù)據(jù)庫儲存，可自動記錄保存所有檢定結(jié)果。
4、智能保護系統(tǒng)
儀器在各個方向都有進行硬件及軟件保護，能有效的保護儀器主機及測針，降低人員因操作失誤帶來的測針及儀器損傷；
模塊測針拔插式結(jié)構(gòu)，方便更換，遇到卡針可輕松拆換測針；測量傳感器帶舵機結(jié)構(gòu)，可防止掃描陡坡時的快速下墜。
5、靈活手動控制：
儀器配置了特殊分離式操作桿，操作桿在儀器操作移動時，可放置在任何位置控制操作，在測量工件前對測針進行粗定位；在脫離電腦的情況下，操作桿具備左右/上下移動測針、急停、測桿上下角度擺動及速度分多級調(diào)節(jié)功能。
6、成熟的標(biāo)定校準(zhǔn)技術(shù)
SJ5730表面輪廓儀探針式配置特殊的高精度標(biāo)定臺，通過簡單的標(biāo)定操作，能對儀器的參數(shù)進行誤差補償，對測針針尖磨損進行修正補償，使其滿足高精度輪廓測量。
環(huán)境條件
溫度：20±5℃；
相對濕度：10%~80%；
電源/功率：220V，50Hz，≤1.5KW（含電腦及顯示器）；
振動：按照三坐標(biāo)振動要求標(biāo)準(zhǔn)，振動速度均方根≤5um/s，振動頻率8~100Hz；
校準(zhǔn)室內(nèi)應(yīng)無影響測量的灰塵、震動、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強磁場；
